Βιομηχανικό σύστημα νερού υψηλής καθαρότητας μεγάλης ροής 18,25MΩ·Cm για ηλεκτρονικό καθαρισμό τσιπ

Αυτό το βιομηχανικό σύστημα υπερκαθαρού νερού μεγάλης ροής είναι επαγγελματικά σχεδιασμένο για εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών, παραγωγή γκοφρέτας, ηλεκτρονική χάραξη τσιπ, καθαρισμό, στίλβωση και γραμμές κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.

Η παραγωγή τσιπ είναι εξαιρετικά ευαίσθητη σε μικροακαθαρσίες. Τα ιόντα ίχνους, το πυρίτιο, το βόριο, ο οργανικός άνθρακας, τα μικροσκοπικά σωματίδια και οι μικροοργανισμοί στο νερό μπορούν να προκαλέσουν βραχυκυκλώματα, γρατσουνιές πλακιδίων, ελαττώματα σχεδίου, ρεύμα διαρροής και χαμηλή απόδοση τσιπ. Αυτός ο μεγάλης κλίμακας εξοπλισμός υπερκαθαρού νερού χρησιμοποιεί μια ολοκληρωμένη βιομηχανικής ποιότητας, δύο σταδίων RO + EDI + διαδικασία καθαρισμού μικτής κλίνης βαθιάς καθαρισμού, που συμμορφώνεται αυστηρά με τα πρότυπα SEMI και ASTM ηλεκτρονικής ποιότητας νερού.

Το σύστημα παρέχει σταθερά υπερκαθαρό νερό υψηλής καθαρότητας 18,25 MΩ*cm με εξαιρετικά χαμηλό TOC, εξαιρετικά χαμηλά σωματίδια και μηδενικά μικροβιακά υπολείμματα. Είναι κατάλληλο για 24ωρη συνεχή παροχή νερού μεγάλου όγκου για καθαρισμό γκοφρέτας, διεργασίες φωτολιθογραφίας, καθαρισμό χάραξης και ξέπλυμα επιφάνειας τσιπ, βελτιώνοντας αποτελεσματικά τα ποσοστά πιστοποίησης τελικών τσιπ και σταθεροποιώντας την ποιότητα παραγωγής ημιαγωγών.

• Βιομηχανικό σύστημα προεπεξεργασίας υψηλού φορτίου:Το φίλτρο πολυμέσων μεγάλης ροής, το φίλτρο ενεργού άνθρακα και το αυτόματο σύστημα αποσκλήρυνσης αφαιρούν τα τεράστια ιζήματα, το υπολειμματικό χλώριο, τα αιωρούμενα στερεά και μειώνουν τη σκληρότητα του ακατέργαστου νερού, αποτρέποντας την απολέπιση και τη ζημιά στα στοιχεία της μεμβράνης του πυρήνα σε μακροχρόνια λειτουργία υψηλού φορτίου.
• Αφαλάτωση RO υψηλής απόδοσης δύο σταδίων:Οι βιομηχανικές μεμβράνες RO υψηλής ροής και αντιρρύπανσης αφαιρούν περισσότερο από το 99,5% των διαλυτών αλάτων, κολλοειδών και μεγάλων οργανικών ρύπων, επιτυγχάνοντας πρωτεύοντα καθαρισμό υψηλής ακρίβειας.
• Ρύθμιση PH και ενδιάμεσο σύστημα προσωρινής αποθήκευσης:Η ακριβής ρύθμιση του pH μειώνει το διαλυμένο διοξείδιο του άνθρακα και την περιεκτικότητα σε υπολειμματικό πυρίτιο, βελτιστοποιώντας την ποιότητα του νερού για τον επακόλουθο βαθύ απιονισμό EDI.
• Βιομηχανικός συνεχής απιονισμός EDI:Η μονάδα EDI μεγάλης ροής αφαιρεί βαθιά ίχνη βορίου, πυριτίου και υπολειμματικών ιοντικών ακαθαρσιών χωρίς χημική αναγέννηση οξέος-βάσης, διατηρώντας σταθερή παραγωγή νερού υψηλής ειδικής αντίστασης.
• Αποικοδόμηση και αποστείρωση UV TOC:Η συσκευή UV 185nm αποσυνθέτει τον συνολικό οργανικό άνθρακα και τα 254nm UV εξαλείφουν τα βακτήρια, ελέγχοντας αποτελεσματικά το TOC εντός του επιπέδου ppb.
• Μικτό γυάλισμα κρεβατιού & υπερδιήθηση τερματικού:Μετά το στάδιο στίλβωσης μικτής κλίνης + τερματικό φίλτρο ακριβείας 0,05μm/0,22μm αφαιρεί τα εξαιρετικά λεπτά σωματίδια, διασφαλίζοντας την πλήρη συμμόρφωση με τα προηγμένα πρότυπα νερού διεργασίας ημιαγωγών.

• Συνεχής Βιομηχανική Παροχή Νερού Μεγάλης Ροής:Προσαρμόσιμη μεγάλη απόδοση νερού από 10m³/h έως 100m³/h, υποστηρίζοντας 24ωρη αδιάκοπη λειτουργία υψηλού φορτίου για γραμμές μαζικής παραγωγής ημιαγωγών.
• Εξαιρετικά σταθερή ποιότητα νερού βαθμού ημιαγωγών:Διατηρεί σταθερά ειδική αντίσταση υπερκαθαρού νερού 18,25MΩ*cm, TOC ≤1ppb, εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε πυρίτιο και βόριο, εξαιρετικά λεπτά έλεγχο σωματιδίων, ικανοποιώντας πλήρως τις προηγμένες απαιτήσεις της διαδικασίας κατασκευής τσιπ.
• Αυστηρός έλεγχος ιχνών επιβλαβών ακαθαρσιών:Αφαιρεί αποτελεσματικά τα μικρο-ιόντα και τους σωματιδιακούς ρύπους που προκαλούν ελαττώματα στο τσιπ, μειώνοντας σημαντικά τον ρυθμό απόρριψης πλακιδίων και βελτιώνοντας την απόδοση παραγωγής.
• Βιομηχανική αντιρρυπαντική και ανθεκτική δομή:Χρησιμοποιεί μεμβράνες RO υψηλής αντιρρύπανσης και βελτιωμένη διάταξη βιομηχανικού αγωγού, που προσαρμόζεται σε μακροχρόνια συνεχή λειτουργία υψηλής ροής με χαμηλό ρυθμό ρύπανσης και εκτεταμένη διάρκεια ζωής.
• Έξυπνο κεντρικό σύστημα ελέγχου:PLC κεντρικός έξυπνος έλεγχος με online παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο της ειδικής αντίστασης, του TOC, της πίεσης και της ροής του νερού. Η αυτόματη έκπλυση, ο συναγερμός βλαβών και η καταγραφή δεδομένων επιτρέπουν τη διαχείριση μη επανδρωμένων συνεργείων.
• Φιλικό προς το περιβάλλον και χαμηλό λειτουργικό κόστος:Η λειτουργία χωρίς χημικά EDI εξαλείφει την απόρριψη υγρών χημικών αποβλήτων. Ο υψηλός ρυθμός ανάκτησης νερού εξοικονομεί νερό και κατανάλωση ενέργειας, ιδανικό για μακροπρόθεσμη εργοστασιακή μαζική παραγωγή.

• Κατασκευή γκοφρέτας ημιαγωγών & καθαρισμός επιφάνειας γκοφρέτας
• Ολοκληρωμένο κύκλωμα IC, χάραξη τσιπ και νερό επεξεργασίας φωτολιθογραφίας
• Καθαρισμός ηλεκτρονικών εξαρτημάτων ακριβείας και ξέπλυμα πλακέτας κυκλώματος
• Μικροηλεκτρονική, τρανζίστορ και διόδου παραγωγής νερού
• Προηγμένος κεντρικός σταθμός υπερκαθαρού νερού εργοστασίου ημιαγωγών
• Καθαρισμός ηλεκτρονικών οργάνων και υλικών ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας

Παρέχουμε ολοκληρωμένες λύσεις μηχανικής επεξεργασίας νερού ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας, συμπεριλαμβανομένης της ανάλυσης ποιότητας ακατέργαστου νερού, του προσαρμοσμένου σχεδιασμού της διαδικασίας, της συναρμολόγησης στο εργοστάσιο, της επιτόπιας θέσης σε λειτουργία και της παγκόσμιας τεχνικής υποστήριξης. Η μακροχρόνια εκπαίδευση λειτουργίας, η απομακρυσμένη διάγνωση βλαβών και η πλήρης προμήθεια ανταλλακτικών διασφαλίζουν σταθερή παροχή υπερκαθαρού νερού υψηλών προδιαγραφών για τις γραμμές παραγωγής ηλεκτρονικών τσιπ.