Endüstriyel Büyük Akışlı Yüksek Saflık Su Sistemi 18.25MΩ·Cm Elektronik Çip Temizliği İçin

Bu endüstriyel büyük akışlı ultra saf su sistemi, yarı iletken üretim tesisleri, levha üretimi, elektronik çip aşındırma, temizleme, cilalama ve entegre devre üretim hatları için profesyonel olarak tasarlanmıştır.

Talaş üretimi mikro yabancı maddelere karşı son derece hassastır. Sudaki eser iyonlar, silika, bor, organik karbon, küçük parçacıklar ve mikroorganizmalar devre kısa devrelerine, levha çiziklerine, desen kusurlarına, kaçak akıma ve düşük talaş verimine neden olabilir. Bu büyük ölçekli ultra saf su ekipmanı, SEMI ve ASTM elektronik dereceli su standartlarına kesinlikle uygun, kapsamlı bir endüstriyel sınıf iki aşamalı RO + EDI + parlatma karma yataklı derin arıtma işlemini kullanır.

Sistem sürekli olarak ultra düşük TOC, ultra düşük parçacıklar ve sıfır mikrobiyal kalıntı ile 18,25MΩ*cm yüksek saflıkta ultra saf su sağlar. Plaka temizleme, fotolitografi işlemleri, dağlama temizleme ve talaş yüzeyi durulama için 24 saat sürekli büyük hacimli su temini için uygundur, bitmiş talaş kalifikasyon oranlarını etkili bir şekilde iyileştirir ve yarı iletken üretim kalitesini stabilize eder.

• Yüksek Yüklü Endüstriyel Ön Arıtma Sistemi:Büyük akışlı multimedya filtresi, aktif karbon filtresi ve otomatik yumuşatma sistemi, büyük tortuları, artık kloru, askıdaki katıları giderir ve ham su sertliğini azaltarak, uzun süreli yüksek yükte çalışma sırasında kireçlenmeyi ve çekirdek membran elemanlarının hasar görmesini önler.
• İki Aşamalı RO Yüksek Verimli Tuzdan Arındırma:Endüstriyel yüksek akışlı ve kirlenme önleyici RO membranları, çözünebilir tuzların, kolloidlerin ve büyük organik kirleticilerin %99,5'inden fazlasını gidererek birincil yüksek hassasiyetli saflaştırma sağlar.
• PH Ayarı ve Ara Tampon Sistemi:Hassas pH ayarı, çözünmüş karbon dioksiti ve artık silikon içeriğini azaltarak daha sonraki EDI derin deiyonizasyon için su kalitesini optimize eder.
• Endüstriyel EDI Sürekli Deiyonizasyon:Büyük akışlı EDI modülü, asit bazlı kimyasal rejenerasyon olmadan eser miktardaki bor, silikon ve artık iyonik yabancı maddeleri derinlemesine gidererek istikrarlı, yüksek dirençli su çıkışını korur.
• UV TOC Bozunumu ve Sterilizasyonu:185nm UV cihazı toplam organik karbonu ayrıştırır ve 254nm UV, bakterileri ortadan kaldırarak TOC'yi ppb seviyesinde etkili bir şekilde kontrol eder.
• Karışık Yatak Parlatma ve Terminal Ultrafiltrasyon:Aşama sonrası cilalama karma yatağı + 0,05μm/0,22μm terminal hassas filtresi, ultra ince parçacıkları gidererek gelişmiş yarı iletken proses suyu standartlarına tam uyum sağlar.

• Büyük Akışlı Sürekli Endüstriyel Su Temini:Yarı iletken seri üretim hatları için 24 saat kesintisiz yüksek yükte çalışmayı destekleyen, 10 m³/saat ile 100 m³/saat arasında özelleştirilebilir büyük su verimi.
• Yarı İletken Sınıfı Ultra Kararlı Su Kalitesi:18,25MΩ*cm ultra saf su direncini, TOC ≤1ppb'yi, ultra düşük silika ve bor içeriğini, ultra ince parçacık kontrolünü sürekli olarak korur ve gelişmiş çip üretim süreci gereksinimlerini tam olarak karşılar.
• Eser miktardaki zararlı yabancı maddelerin sıkı kontrolü:Talaş kusurlarına neden olan mikro iyonları ve partikül halindeki kirleticileri etkili bir şekilde ortadan kaldırır, levha hurdaya çıkarma oranını önemli ölçüde azaltır ve üretim verimini artırır.
• Endüstriyel Kirlenme Önleyici ve Dayanıklı Yapı:Yüksek düzeyde kirlilik önleyici RO membranları ve gelişmiş endüstriyel boru hattı düzenini kullanarak, düşük kirlenme oranı ve daha uzun hizmet ömrü ile uzun vadeli yüksek akışlı sürekli çalışmaya uyum sağlar.
• Akıllı Merkezi Kontrol Sistemi:Direnç, TOC, basınç ve su akışının gerçek zamanlı çevrimiçi izlenmesiyle PLC merkezi akıllı kontrol. Otomatik temizleme, arıza alarmı ve veri kaydı, insansız atölye yönetimine olanak tanır.
• Çevre Dostu ve Düşük İşletme Maliyeti:EDI kimyasal madde içermeyen çalışma, kimyasal atık sıvı tahliyesini ortadan kaldırır. Yüksek su geri kazanım oranı, uzun vadeli fabrika seri üretimi için ideal olan su ve güç tüketimini korur.

• Yarı iletken levha imalatı ve levha yüzey temizliği
• IC entegre devre, çip aşındırma ve fotolitografi proses suyu
• Hassas elektronik bileşen temizliği ve devre kartı durulaması
• Mikroelektronik, transistör ve diyot üretim proses suyu
• Gelişmiş yarı iletken fabrika merkezi ultra saf su istasyonu
• Yüksek hassasiyetli elektronik alet ve yarı iletken malzeme temizliği

Ham su kalitesi analizi, prosese özel tasarım, fabrika montajı, yerinde devreye alma ve küresel teknik destek dahil olmak üzere kapsamlı büyük ölçekli yarı iletken su arıtma mühendisliği çözümleri sunuyoruz. Uzun vadeli işletme eğitimi, uzaktan arıza teşhisi ve eksiksiz yedek parça tedariği, elektronik çip üretim hatları için istikrarlı, yüksek standartta ultra saf su temini sağlar.