18.25 MΩ·cm EDI Ultrazuiver water systeem Halvergeleiderchip Reiniging Chemische vrij continue werking
18.25 MΩ·cm Ultrazuiver water systeem
,Chemisch vrij EDI-watersysteem
,Watersystemen voor halfgeleiders
Dit industriële EDI ultrazuivere water systeem is professioneel ontworpen voor de productie van halfgeleiders, wafer etsen, chip reiniging, productie van elektronische componenten,en laboratoriale experimenten met hoge precisie. The equipment utilizes advanced two-stage RO reverse osmosis + EDI continuous electrodeionization technology with post-polishing purification to stably produce high-purity ultrapure water with maximum resistivity of 18.25MΩ·cm (@25°C), die voldoet aan de strengste waterzuiverheidsnormen voor de industriële productie van halfgeleiders.
In tegenstelling tot traditionele gemengde bedieningswaterzuiveringsapparatuur bereikt deze EDI ultrazuivere waterapparatuur chemisch-vrije continue deionisatie zonder zuur-basisregeneratie.effectief voorkomen van secundaire verontreiniging van de waterkwaliteitHet verwijdert rest ionen, colloïden, organische stoffen, bacteriën, zware metalen en silica uit ruw water.het garanderen van nul-verontreinigingsinterferentie bij het reinigen van halfgeleiderchipprocessen en tegelijkertijd het aanzienlijk verbeteren van de productopbrengst en de productie-stabiliteit.
Het systeem maakt gebruik van een meerdere fasen aflopend zuiveringsontwerp om geleidelijk een ultrahoge zuiverheid van het water te bereiken:
- Voorbehandeling:Multimediafilter, actieve koolstoffilter en precisiebeveiligingsfilter onderscheppen effectief sediment, roest, algen, grote deeltjes onzuiverheden en restchloor.bescherming van de volgende RO-membranen en EDI-modules
- Twee-stappen RO omgekeerde osmose systeem:Dubbellagig hoogprecisie-RO-membraanfiltratie met een ontzaltingspercentage tot 99,5%, waarbij de meeste oplosbare zouten en organische verontreinigende stoffen worden verwijderd, terwijl stabiel vooraf gezuiverd water voor het EDI-systeem wordt geleverd
- EDI-elektrodeionisatiesysteem:kernzuiveringseenheid die ionenwisselhars en elektrisch veldtechnologie combineert voor automatische continue harsregeneratie,het diep verwijderen van sporen van zwakke elektrolyten zoals silicium en boor die moeilijk te filteren zijn door RO
- Terminalpoets- en sterilisatiesysteem:UV-TOC-afbraakapparaat en 0,2 μm ultrafiltratiefilter om het TOC-gehalte onder 1 ppm te regelen, residuele micro-organismen te verwijderen en een lange termijn stabiele waterkwaliteit van halfgeleiderkwaliteit te garanderen
- Ultra-hoge zuiverheid van water en stabiele uitgang:Houdt waterweerstand op 15-18.25MΩ·cm bij 25°C, TOC≤1ppb, geen bacteriële residuen, volledig in overeenstemming met de SEMI-standaarden van de halfgeleiderindustrie
- Chemische-vrije en milieuvriendelijke werking:Geen zuur- en alkalichemische regeneratie, geen chemisch afvalvloeistofvloeistof, vermindering van milieuverontreiniging en chemische aankoopkosten
- Intelligente automatische besturing:PLC-intelligent besturingssysteem met kleuren touchscreen maakt automatische productie van water, drukbescherming, watertekort uitschakeling en storingalarm mogelijk met 24-uurs continue werking
- Lage exploitatiekosten en onderhoudskosten:EDI-module heeft een lange levensduur, geen frequente vervanging van harsverbruik, laag water- en stroomverbruik, hoog waterproductie-terugwinning
- Compact en aanpasbaar ontwerp:Geïntegreerde structuur met een kleine afmeting, gemakkelijke installatie en verplaatsing, aanpasbare waterstroom (250L/H-5000L/H) op basis van de productievereisten
- Anti-corrosie en duurzame configuratie:Materialen voor leidingen van levensmiddelen- en elektronische kwaliteit met anti-oxidatie- en anti-vervuilingseigenschappen voorkomen secundaire vervuiling van leidingen
- Reiniging van halfgeleiderwafels, chips en lithografieprocessen
- Elektronische componenten, printplaten en precisie-elektronica
- Micro-elektronica-industrie en laboratoriumanalyse van halfgeleiders
- Watervoorziening met een hoge zuiverheid voor elektronicawerkstations voor nieuwe energiebatterijen
- Productie van precisieinstrumenten en experimenten op het gebied van wetenschappelijk onderzoek van hoge kwaliteit
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Resistiviteit van het uitlaatwater | 1518,25 MΩ·cm (25°C, stabiel vermogen) |
| TOC-waarde | ≤ 1 ppm |
| Stroom van waterproductie | Gepersonaliseerd 250L/H, 500L/H, 1000L/H, 2000L/H, 5000L/H |
| RO Ontzaltingspercentage | ≥ 99,5% |
| Operatiemodus | Volledig automatisch 24 uur continu werk |
| Controlesysteem | Intelligente automatische besturing met PLC + touchscreen |
| Werktemperatuur | 5°C tot 45°C |
| Terugvorderingspercentage | ≥ 90% |
| Sterilisatiemethode | UV-sterilisatie + precieze terminale filtratie |
Wij verlenen uitgebreide diensten, waaronder ontwerp, productie, installatie, inbedrijfstelling en onderhoud na verkoop.Alle apparatuur ondersteunt aangepaste configuratie volgens verschillende productieprocessen van halfgeleiders, met een garantie van 1 jaar voor de gehele machine en langdurige technische ondersteuning.Ons professionele overzeese engineering team biedt op afstand begeleiding en after-sales service om te zorgen voor stabiele en efficiënte lange termijn apparatuur operatie.
