18.25 MΩ·cm EDI Hệ thống nước siêu tinh khiết Chips bán dẫn Làm sạch hóa chất Không hoạt động liên tục
18.25 MΩ·cm Hệ thống nước siêu tinh khiết
,Hệ thống nước EDI không chứa hóa chất
,Hệ thống nước lớp bán dẫn
Hệ thống nước siêu tinh khiết EDI cấp công nghiệp này được thiết kế chuyên nghiệp để sản xuất chất bán dẫn, khắc wafer, làm sạch chip, sản xuất linh kiện điện tử và các thí nghiệm có độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm. Thiết bị sử dụng công nghệ thẩm thấu ngược RO hai giai đoạn tiên tiến + công nghệ điện cực hóa liên tục EDI với quá trình tinh chế sau đánh bóng để tạo ra nước siêu tinh khiết có độ tinh khiết cao một cách ổn định với điện trở suất tối đa 18,25MΩ·cm (@25oC), đáp ứng các tiêu chuẩn nước tinh khiết nghiêm ngặt nhất cho sản xuất công nghiệp bán dẫn.
Không giống như các thiết bị xử lý nước tầng hỗn hợp truyền thống, thiết bị nước siêu tinh khiết EDI này đạt được quá trình khử ion liên tục không cần hóa chất mà không cần tái tạo axit-bazơ, ngăn ngừa hiệu quả ô nhiễm chất lượng nước thứ cấp. Nó loại bỏ triệt để các ion dư, chất keo, chất hữu cơ, vi khuẩn, kim loại nặng và silica khỏi nước thô, đảm bảo không có tạp chất trong quá trình làm sạch chip bán dẫn, đồng thời cải thiện đáng kể năng suất sản phẩm và độ ổn định trong sản xuất.
Hệ thống sử dụng thiết kế lọc phân loại theo nhiều giai đoạn để đạt được độ tinh khiết nước cực cao dần dần:
- Hệ thống tiền xử lý:Bộ lọc đa phương tiện, bộ lọc than hoạt tính và bộ lọc bảo mật chính xác ngăn chặn hiệu quả trầm tích, rỉ sét, tảo, tạp chất hạt lớn và clo dư, bảo vệ màng RO và các mô-đun EDI tiếp theo
- Hệ thống thẩm thấu ngược RO hai giai đoạn:Màng lọc RO hai lớp có độ chính xác cao với tỷ lệ khử muối lên tới 99,5%, loại bỏ hầu hết các muối hòa tan và các chất ô nhiễm hữu cơ đồng thời cung cấp nước tiền lọc ổn định cho hệ thống EDI
- Hệ thống điện cực hóa EDI:Bộ lọc lõi kết hợp nhựa trao đổi ion và công nghệ điện trường để tái tạo nhựa tự động liên tục, loại bỏ sâu các vết chất điện ly yếu như silicon, boron khó lọc bằng RO
- Hệ thống đánh bóng và khử trùng thiết bị đầu cuối:Thiết bị phân hủy UV TOC và bộ lọc siêu lọc 0,2μm kiểm soát hàm lượng TOC dưới 1ppb, loại bỏ các vi sinh vật còn sót lại và đảm bảo chất lượng nước cấp bán dẫn ổn định lâu dài
- Độ tinh khiết của nước cực cao và đầu ra ổn định:Duy trì điện trở suất của nước ở mức 15-18,25MΩ·cm ở 25oC, TOC<1ppb, không tồn dư vi khuẩn, hoàn toàn tuân thủ các tiêu chuẩn ngành bán dẫn SEMI
- Hoạt động không có hóa chất và thân thiện với môi trường:Không tái sinh hóa chất axit và kiềm, không xả chất thải hóa học, giảm ô nhiễm môi trường và chi phí mua sắm hóa chất
- Điều khiển tự động thông minh:Hệ thống điều khiển thông minh PLC với màn hình cảm ứng đủ màu cho phép sản xuất nước tự động, bảo vệ áp suất, ngắt khi thiếu nước và báo lỗi với hỗ trợ vận hành liên tục 24/24
- Chi phí vận hành và bảo trì thấp:Mô-đun EDI có tuổi thọ dài, không cần thay thế vật liệu tiêu hao nhựa thường xuyên, tiêu thụ nước và điện năng thấp, tốc độ thu hồi sản xuất nước cao
- Thiết kế nhỏ gọn và có thể tùy chỉnh:Cấu trúc tích hợp gắn trên thanh trượt với diện tích nhỏ, lắp đặt và di chuyển dễ dàng, lưu lượng nước có thể tùy chỉnh (250L/H-5000L/H) dựa trên yêu cầu sản xuất
- Cấu hình chống ăn mòn & bền bỉ:Vật liệu đường ống cấp thực phẩm và cấp điện tử có đặc tính chống oxy hóa và chống ô nhiễm ngăn ngừa ô nhiễm thứ cấp cho đường ống
- Quy trình làm sạch wafer bán dẫn, khắc chip & in thạch bản
- Sản xuất linh kiện điện tử, bảng mạch và điện tử chính xác
- Ngành công nghiệp vi điện tử và phân tích phòng thí nghiệm bán dẫn
- Cung cấp nước có độ tinh khiết cao cho xưởng điện tử pin năng lượng mới
- Chế tạo dụng cụ chính xác và thí nghiệm nghiên cứu khoa học cao cấp
| tham số | Đặc điểm kỹ thuật |
|---|---|
| Điện trở suất nước đầu ra | 15~18,25 MΩ·cm (25oC, đầu ra ổn định) |
| Giá trị TOC | 1ppb |
| Dòng chảy sản xuất nước | Tùy chỉnh 250L/H, 500L/H, 1000L/H, 2000L/H, 5000L/H |
| Tỷ lệ khử muối RO | ≥99,5% |
| Chế độ hoạt động | Hoàn toàn tự động làm việc liên tục 24h |
| Hệ thống điều khiển | Điều khiển tự động thông minh PLC + màn hình cảm ứng |
| Nhiệt độ làm việc | 5oC ~ 45oC |
| Tỷ lệ phục hồi | ≥90% |
| Phương pháp khử trùng | Khử trùng bằng tia cực tím + lọc thiết bị đầu cuối chính xác |
Chúng tôi cung cấp các dịch vụ toàn diện bao gồm thiết kế, sản xuất, lắp đặt, vận hành và bảo trì sau bán hàng. Tất cả các thiết bị đều hỗ trợ cấu hình tùy chỉnh theo các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau, được bảo hành toàn bộ máy 1 năm và hỗ trợ kỹ thuật dài hạn. Đội ngũ kỹ thuật chuyên nghiệp ở nước ngoài của chúng tôi cung cấp hướng dẫn từ xa và dịch vụ hậu mãi để đảm bảo thiết bị hoạt động lâu dài ổn định và hiệu quả.
