18.25 MΩ·cm EDI Ультрачистая система водоснабжения Полупроводниковые чипы Чистка химикатов Бесперебойная работа
18
,25 МОм·см Система сверхчистой воды
,Система воды EDI без химикатов
Эта ультрачистая система водоснабжения EDI промышленного класса профессионально разработана для производства полупроводников, гравирования пластин, очистки чипов, производства электронных компонентов,и лабораторные высокоточные эксперименты. The equipment utilizes advanced two-stage RO reverse osmosis + EDI continuous electrodeionization technology with post-polishing purification to stably produce high-purity ultrapure water with maximum resistivity of 18.25MΩ·cm (@25°C), отвечающий самым строгим стандартам чистоты воды для промышленного производства полупроводников.
В отличие от традиционных смешанных установок очистки воды, это оборудование EDI для сверхчистой воды обеспечивает бесхимическую непрерывную деионизацию без кислотно-базовой регенерации.эффективное предотвращение вторичного загрязнения качества водыОн тщательно удаляет остатки ионов, коллоидов, органических веществ, бактерий, тяжелых металлов и кремния из сырой воды.обеспечение нулевых помех при загрязнении процессов очистки полупроводниковых микросхем при одновременном значительном улучшении урожайности продукции и стабильности производства.
Система использует многоступенчатую степень очистки для достижения сверхвысокой чистоты воды:
- Система предварительной обработки:Мультимедийный фильтр, фильтр активированного угля и точный фильтр безопасности эффективно перехватывают осадки, ржавчину, водоросли, примеси крупных частиц и остаточный хлор,защита последующих модулей РО-мембраны и ЭДИ
- Двухступенчатая система обратной осмозы:Двухслойная высокоточная RO мембранная фильтрация с скоростью опреснения до 99,5%, удаляющая большинство растворимых солей и органических загрязнителей, обеспечивая при этом стабильную предварительно очищенную воду для системы EDI
- Система электродионизации EDI:Ядерный очистительный блок, объединяющий ионнообменную смолу и технологию электрического поля для автоматической непрерывной регенерации смолы,глубоко удаляет следы слабых электролитов, таких как кремний и бор, которые трудно отфильтровывать RO
- Система полировки и стерилизации терминалов:Устройство для разложения УФ-ТОК и 0,2-мм ультрафильтрационный фильтр контролируют содержание ТоК ниже 1ppb, удаляют остаточные микроорганизмы и обеспечивают долгосрочное стабильное качество воды полупроводникового качества
- Ультравысокая чистота воды и стабильный выход:Сохраняет сопротивляемость к воде 15-18,25MΩ·cm при 25°C, TOC≤1ppb, нулевой бактериальный остаток, полностью соответствует стандартам отрасли полупроводников SEMI
- Без химических веществ и экологически чистый:Отсутствие кислотной и щелочной химической регенерации, отсутствие сброса жидкости от химических отходов, снижение загрязнения окружающей среды и затрат на закупки химикатов
- Интеллектуальное автоматическое управление:Интеллектуальная система управления PLC с цветной сенсорным экраном обеспечивает автоматическое производство воды, защиту от давления, отключение от нехватки воды и сигнализацию об отказе с поддержкой непрерывной работы 24 часа
- Низкие затраты на эксплуатацию и обслуживание:Модуль EDI имеет длительный срок службы, не требует частой замены расходных материалов из смолы, низкое потребление воды и энергии, высокая скорость восстановления производства воды
- Компактный и настраиваемый дизайн:Интегрированная конструкция с небольшим отходом, легкой установкой и перемещением, настраиваемый поток воды (250L/H-5000L/H) на основе требований производства
- Противокоррозионная и прочная конфигурация:Пищевые и электронные материалы для трубопроводов с антиоксидационными и антизагрязнительными свойствами предотвращают вторичное загрязнение трубопроводов
- Процессы очистки полупроводниковых пластин, гравирования чипов и литографии
- Производство электронных компонентов, платок и точных электронных устройств
- Промышленность микроэлектроники и лабораторный анализ полупроводников
- Водоснабжение высокой чистоты для электронных мастерских новых энергетических батарей
- Производство высокоточных приборов и эксперименты по научным исследованиям высокого класса
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Сопротивляемость выходной воды | 15−18,25 MΩ·cm (25°C, стабильная производительность) |
| Значение TOC | ≤ 1 ппб |
| Поток производства воды | Настройка 250L/h, 500L/h, 1000L/h, 2000L/h, 5000L/h |
| RO Уровень опреснения | ≥ 99,5% |
| Режим работы | Полная автоматическая непрерывная работа 24 часа в сутки |
| Система управления | Интеллектуальное автоматическое управление PLC + сенсорный экран |
| Рабочая температура | 5°C ~ 45°C |
| Уровень восстановления | ≥ 90% |
| Способ стерилизации | Ультрафиолетовая стерилизация + точная терминальная фильтрация |
Мы предоставляем комплексные услуги, включая проектирование, производство, установку, ввод в эксплуатацию и послепродажное обслуживание.Все оборудование поддерживает индивидуальную конфигурацию в соответствии с различными процессами производства полупроводников, с 1-летней гарантией на всю машину и долгосрочной технической поддержкой.Наша профессиональная зарубежная инженерная команда предлагает дистанционное руководство и послепродажное обслуживание для обеспечения стабильной и эффективной долгосрочной работы оборудования.
