18.25 MΩ・cm EDI超純水システム半導体チップ洗浄ケミカルフリー連続運転
18.25 MΩ·cm 超純水システム 化学薬品のないEDI水システム 半導体級水システム
,Chemical Free EDI Water System
,Semiconductor Grade Water System
半導体製造,ウエファーエッチング,チップ清掃,電子部品製造,実験室での高精度実験. The equipment utilizes advanced two-stage RO reverse osmosis + EDI continuous electrodeionization technology with post-polishing purification to stably produce high-purity ultrapure water with maximum resistivity of 18.25MΩ·cm (@25°C),半導体工業生産のための最も厳格な水純度基準を満たしています.
このEDI超純水処理装置は 化学薬品のない連続した離子化を 酸塩再生なしで達成します水質の二次汚染を効果的に防止する水から残ったイオン,コロイド,有機物,細菌,重金属,シリカを徹底的に除去します半導体チップ清掃プロセスにおける不純物干渉をゼロに確保し,同時に製品の生産量と生産安定性を著しく改善する.
システムでは,水の超高純度を徐々に達成するために,多段階の段階的な浄化設計を使用します.
- 前処理システム:マルチメディアフィルター,活性炭フィルター,精密なセキュリティフィルターで 精密に堆積物,腐食,藻類,大粒子の不浄物,残留塩素を 切断します後続のRO膜とEDIモジュールを保護する
- 2段階RO逆オスモースシステム:二層高精度RO膜過濾で,脱塩率は99.5%まで,溶解塩と有機汚染物質の大半を除去し,EDIシステムに安定した予備浄水を提供する
- EDI電子電離化システム:イオン交換樹脂と電磁場技術を組み合わせたコア浄化装置で,自動的な継続的な樹脂再生を行う.ROによってフィルタリングが難しいシリコンやボロンのような弱体電解質の痕跡を深く除去する
- ターミナル・ポーリング・ステリライゼーション・システム:紫外線TOC分解装置と0.2μm超濾過フィルタは,TOC含有量を1ppb以下に制御し,残留微生物を除去し,長期的に安定した半導体級水質を確保します
- 超高い水純度と安定した出力:25°Cで15〜18.25MΩ·cmの水抵抗を維持し,TOC≤1ppb,細菌残留はゼロで,SEMI半導体産業基準に完全に適合する
- 化学薬品のない環境に優しい操作酸や塩基化学再生なし,化学廃棄物液体排出なし,環境汚染と化学品調達コストを削減
- インテリジェント自動制御全彩タッチスクリーン付きPLCインテリジェント制御システムで,自動水生産,圧力保護,水不足停止,故障アラームを24時間連続操作サポートで可能にします
- 低運用・保守コストEDIモジュールは長寿命で,レジンの消費物を頻繁に交換する必要はない.水と電力の消費量が低く,水生産の回収率は高い.
- コンパクト&カスタマイズ可能なデザイン:スキッド式統合構造 足跡が小さく,設置と移動が簡単,生産要件に基づいて水流量 (250L/H-5000L/H) を調整できる
- 耐腐蝕性と耐久性配置:食品級と電子級のパイプライン材料は,酸化防止と汚染防止特性を持つため,パイプラインの二次汚染を防止する
- 半導体ウエファー清掃,チップエッチング,リトグラフィー加工
- 電子部品,回路板,精密電子製造
- マイクロエレクトロニクス産業と半導体実験室分析
- 新エネルギー電池電子工房のための高純度水供給
- 精密儀器製造と高級科学研究実験
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 出口水の抵抗性 | 15~18.25 MΩ·cm (25°C,安定した出力) |
| TOC 値 | ≤1ppb |
| 水生産流量 | カスタマイズされた 250L/H, 500L/H, 1000L/H, 2000L/H, 5000L/H |
| RO 淡水化率 | ≥99.5% |
| 動作モード | 全自動 24時間連続作業 |
| 制御システム | PLCインテリジェント自動制御 + タッチスクリーンディスプレイ |
| 作業温度 | 5°C~45°C |
| 回復率 | ≥90% |
| 滅菌方法 | 紫外線消毒 + 精密ターミナルフィルタ |
設計,製造,設置,運用,販売後メンテナンスを含む包括的なサービスを提供していますすべての機器は,異なる半導体生産プロセスに従ってカスタマイズされた構成をサポート1年間の全機械保証と長期的技術サポート私たちの専門的な海外エンジニアリングチームは,遠隔指導と販売後のサービスを提供し,安定して効率的な長期機器運用を保証します..