18.25 MΩ·cm EDI سیستم آب فوق خالص نیمه هادی تمیز کردن تراشه بدون مواد شیمیایی عملیات مداوم
سیستم آب فوق خالص 18.25 MΩ·cm
,سیستم آب EDI بدون مواد شیمیایی
,سیستم آب درجه نیمه هادی
این سیستم آب فوق خالص EDI درجه صنعتی به طور حرفه ای برای ساخت نیمه هادی، حکاکی ویفر، تمیز کردن تراشه، تولید قطعات الکترونیکی و آزمایش های آزمایشگاهی با دقت بالا طراحی شده است. این تجهیزات از فناوری اسمز معکوس دو مرحله ای پیشرفته + EDI الکترودیونیزاسیون مداوم با تصفیه پس از پرداخت برای تولید پایدار آب فوق خالص با خلوص بالا با حداکثر مقاومت 18.25MΩ·cm (@25℃) استفاده می کند که سخت ترین استانداردهای خلوص آب را برای تولید صنعتی نیمه هادی ها رعایت می کند.
بر خلاف دستگاههای سنتی تصفیه آب بستر مخلوط، این تجهیزات آب فوقخالص EDI به یونیزاسیون مداوم بدون مواد شیمیایی و بدون بازسازی اسید-باز دست مییابد و به طور موثر از آلودگی ثانویه کیفیت آب جلوگیری میکند. یونهای باقیمانده، کلوئیدها، مواد آلی، باکتریها، فلزات سنگین و سیلیس را به طور کامل از آب خام حذف میکند و از عدم تداخل ناخالصی در فرآیندهای تمیز کردن تراشههای نیمهرسانا اطمینان حاصل میکند و در عین حال عملکرد محصول و پایداری تولید را به طور قابلتوجهی بهبود میبخشد.
این سیستم از طراحی تصفیه درجه بندی چند مرحله ای برای دستیابی به خلوص آب فوق العاده بالا به تدریج استفاده می کند:
- سیستم پیش تصفیه:فیلتر چند رسانه ای، فیلتر کربن فعال و فیلتر امنیتی دقیق به طور موثر رسوبات، زنگ زدگی، جلبک ها، ناخالصی های ذرات بزرگ و کلر باقیمانده را رهگیری می کند و از غشای RO و ماژول های EDI بعدی محافظت می کند.
- سیستم اسمز معکوس RO دو مرحله ای:فیلتراسیون غشایی RO دو لایه با دقت بالا با نرخ نمک زدایی تا 99.5٪، حذف اکثر نمک های محلول و آلاینده های آلی در حالی که آب از پیش تصفیه شده پایدار برای سیستم EDI فراهم می کند.
- سیستم الکترودیونیزاسیون EDI:واحد خالص سازی هسته ترکیبی از رزین تبادل یونی و فناوری میدان الکتریکی برای بازسازی مداوم رزین، عمیقا حذف الکترولیت های ضعیف مانند سیلیکون و بور که فیلتر کردن آنها توسط RO دشوار است.
- سیستم پولیش و استریل کردن ترمینال:دستگاه تخریب UV TOC و فیلتر اولترافیلتراسیون 0.2μm محتوای TOC زیر 1ppb را کنترل میکند، میکروارگانیسمهای باقیمانده را حذف میکند و کیفیت آب با درجه نیمهرسانا پایدار طولانیمدت را تضمین میکند.
- خلوص آب فوق العاده بالا و خروجی پایدار:مقاومت در برابر آب را در 15-18.25MΩ·cm در دمای 25℃ حفظ می کند، TOC≤1ppb، باقیمانده باکتری صفر، کاملا مطابق با استانداردهای صنعت نیمه هادی SEMI
- عملیات بدون مواد شیمیایی و سازگار با محیط زیست:بدون بازسازی شیمیایی اسید و قلیایی، عدم تخلیه مایع زباله های شیمیایی، کاهش آلودگی محیط زیست و هزینه های تهیه مواد شیمیایی
- کنترل خودکار هوشمند:سیستم کنترل هوشمند PLC با صفحه نمایش لمسی تمام رنگی، تولید آب خودکار، حفاظت از فشار، خاموش شدن کمبود آب و هشدار خطا را با پشتیبانی عملیات مداوم 24 ساعته امکان پذیر می کند.
- هزینه عملیات و نگهداری کم:ماژول EDI دارای عمر طولانی، عدم تعویض مکرر مواد مصرفی رزین، مصرف کم آب و برق، نرخ بازیابی تولید آب بالا است.
- طراحی فشرده و قابل تنظیم:ساختار یکپارچه نصب شده روی لغزش با ردپای کوچک، نصب و جابجایی آسان، جریان آب قابل تنظیم (250L/H-5000L/H) بر اساس الزامات تولید
- پیکربندی ضد خوردگی و بادوام:مواد غذایی و الکترونیکی خط لوله با خواص ضد اکسیداسیون و ضد آلودگی از آلودگی ثانویه خط لوله جلوگیری می کند.
- فرآیندهای تمیز کردن ویفر نیمه هادی، حکاکی تراشه و لیتوگرافی
- قطعات الکترونیکی، برد مدار، و ساخت الکترونیکی دقیق
- صنعت میکروالکترونیک و تجزیه و تحلیل آزمایشگاهی نیمه هادی ها
- تامین آب با خلوص بالا برای کارگاه های الکترونیک باتری انرژی جدید
- ساخت ابزار دقیق و آزمایش های تحقیقاتی علمی پیشرفته
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| مقاومت آب خروجی | 15~18.25 MΩ·cm (25℃، خروجی پایدار) |
| مقدار TOC | ≤1ppb |
| جریان تولید آب | سفارشی 250 لیتر در ساعت، 500 لیتر در ساعت، 1000 لیتر در ساعت، 2000 لیتر در ساعت، 5000 لیتر در ساعت |
| نرخ نمک زدایی RO | ≥99.5٪ |
| حالت عملیات | کار مداوم 24 ساعته تمام اتوماتیک |
| سیستم کنترل | کنترل خودکار هوشمند PLC + صفحه نمایش لمسی |
| دمای کاری | 5 ~ 45 ℃ |
| نرخ بازیابی | ≥90% |
| روش عقیم سازی | استریلیزاسیون UV + فیلتراسیون ترمینال دقیق |
ما خدمات جامعی از جمله طراحی، ساخت، نصب، راه اندازی و نگهداری پس از فروش ارائه می دهیم. همه تجهیزات از پیکربندی سفارشی مطابق با فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی، با 1 سال گارانتی کل دستگاه و پشتیبانی فنی طولانی مدت پشتیبانی می کنند. تیم مهندسی حرفه ای ما در خارج از کشور، راهنمایی از راه دور و خدمات پس از فروش را برای اطمینان از عملکرد طولانی مدت تجهیزات پایدار و کارآمد ارائه می دهد.
